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● 大尺寸板状样品无需破坏，仍可获得高分辨率
● 可编程扫描工艺，简化操作人员的工作量
● 专用自动识别算法，定量统计器件内部的缺陷
X射线源
类型 | 开放式 | |
最高电压 | 160KV | |
空间分辨率 | 3μm |
探测器
类型 | 非晶硅高速平板数字探测器 |
扫描参数
成像面积 | 2D X-ray 三维断层扫描(CT扫描) | |
倾斜角度 |
0-70° | |
最大样品尺寸 |
660mmx600mm | |
最大检测范围 |
200x200mm(三维断层扫描) | |
载物台尺寸 |
400x400mm(可360度旋转) | |
设备
尺寸(L x W x H) | 2300 (宽)*1900(高)*1800 (深) | |
铅玻璃观测窗口 |
50x40cm | |
重量 |
3500kg | |
功率 |
AC220V 16A | |
辐射计量 |
<0.8uSv/hr | |
设备运行环境 |
+10°C-40°C、湿度≤90%，无凝结 | |
*空间分辨率可用空间分辨率测试卡进行测试验证
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